中端探针台

产品概述

一款用于4-6英寸及以下尺寸晶圆的精密探针台，较大可提供8英寸卡盘。该系列探针台采用显微镜龙门结构，结构稳定，显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节，显微镜放大倍率高，操作方便，同时支持多种功能升级，非常适合晶圆级测试应用，该产品主要应用于集成电路、芯片、MEMS器件、管芯晶圆、LED、LCD、太阳能电池等行业的测试及研究领域。

产品特点

• 带卡盘快速拖出机构，方便晶圆上下片
  
• 显微镜底座采用龙门结构，刚性好，保证高质量光学成像
  
• 金相显微镜气动升降调节，方便更换物镜或探针卡夹具、针卡
  
• 卡盘可360°旋转及小角度微调
  
• 兼容金相显微镜、体视显微镜，可精密微调移动
  
• 平移台精密丝杆传动结构，无回程差设计，定位精准
  
• 可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统
  
• 可集成积分球，进行光电测试
  
• 可选配高低温测试卡盘
  
• 可选配高精密电动平移台
  
• 模块化设计，方便后期功能扩展升级
  

应用方向

晶圆（芯片）/MEMS传感器/LED/LD/PD/叉指电极的电学性能测试；材料或器件的I/V、C/V、C/F、有源测试、耐压测试、ESD测试、混合参数测试等；封装器件/PCB板测试；射频测试、高频/低频测试等。